MC-1600L MC-1601L 流量计气体流量计质量流量计气体质量流量控制器深圳大鑫达代理

更新时间：2024-05-02 信息编号：1524049

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MC-1600L MC-1601L 气体质量流量控制器 ◆ 流量可覆盖2sccm-50slm非腐蚀性气体(相对于N2) ◆ *具性价比 ◆ 模拟通讯控制模式,同类产品中表现出色 ◆ 自动复零功能设置,增加工艺稳定性规格 MC-1600L MC-1601L Full Scale Range (N2 Eqv) 单气体2-5000sccm 单气体5-50slm Control Valve Type 阀门类型常闭式螺线管 Fitting 接头 1/4'VCR兼容 or 1/4'Swagelok兼容 Seals 密封橡胶 Viton Response Time 响应时间到达设**±2% 所需时间≤2Sec Accuracy **性 ≤满量程1% Linearity 线性度 ≤ 满量程的±1% Repeatability 重复性 ≤ 满量程的±0.5% Differential Pressure 压差 7 - 40psi 10 - 40psi Leak lntegrity 漏率 Max:1x10-7Pa.m3/sec (He) Control Range 控制范围满量程的5-** Max Operating Pressure 高操作压力 50psi Proof Pressure 承受压力较大值150psi Communication Type 通讯模式模拟0-5V Input Power 输入功率 +15VDC ±2% at 25mA -15VDC ±2% at 180mA Command Signal 控制信号模拟信号0-5 VDC Output Signal 输出模拟信号模拟信号0-5 VDC Power Consumption 功耗 3.1W Temperature Range 温度范围 5-45 Deg Materials 材料 316LSS,PTFE Weight 重量 0.9kg