MC-DG910C MC-DG911C流量计质量流量计气体质量流量控制器英国WARWICK 深圳大鑫达代理

更新时间：2024-05-03 信息编号：1524051

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MC-DG910C MC-DG911C 金属密封气体质量流量控制器 ◆ ***及性能,流量可覆盖2sccm-50slm(相对于N2) ◆ *高纯度及金属密封设计,适用于广泛的行业需求,包括腐蚀性气体 ◆ 兼容RS485和模拟通讯模式,便于操作 ◆ 多气体多量程控制可为客户大幅节省成本规格 MC-DG910 MC-DG911C Full Scale Range (N2 Eqv) 单气体2-5000sccm 单气体5-50SLM Control Valve Type 阀门类型常开式或常闭式螺线管 (NC or NO) Fitting 接头 1/4'VCR or 1/4'Swagelok 兼容 IGS 底部/表面贴装(c或w密封) Seals 密封金属 Metal Response Time 响应时间 ≤1Sec(*过满量程10%) Accuracy **性 25%-**:≤±1%S.P (满量程25%到**) 2%-25%: ≤ ±0.25%F.S (满量程2%到25%) Linearity 线性度 ≤ 满量程的±0.5% Repeatability 重复性 ≤ 满量程的±0.2% Differential Pressure 压差 7 - 40psi Leak lntegrity 漏率 Max:1x10-11Pa.m3/sec (He) Control Range 控制范围满量程的2-** Max Operating Pressure 较高操作压力 70psi Proof Pressure 承受压力较大值140psi Communication Type 通讯模式模拟0-5V / RS485 Input Power 输入功率 +15VDC ±2% at 100mA -15VDC ±2% at 200mA Command Signal控制信号模拟信号0-5 VDC(输入阻抗>1MΩ)/Profibus 0-** Output Signal 输出模拟信号模拟信号0-5 VDC(输入阻抗>2KΩ)/Profibus 0-** Surface Finish 表面处理电解法抛光和*洁净 ≤ 5Ra Temperature Range 温度范围 5-45 Deg C Materials 材料 316LSS,316SS,PTFE,KM45 Weight 重量 1.0kg 1.2kg