MC-AN600C MC-AN601C 流量计 质量流量计 气体质量流量控制器 英国WARWICK 深圳大鑫达代理
MC-AN600C MC-AN601C 气体质量流量控制器
◆ 流量可覆盖2sccm-50slm非腐蚀性气体(相对于N2)
◆ 独特传感器设计,极高精度及性能
◆ 易于集成-标准接头尺寸
◆ 报警及诊断功能
规格
MC-AN600C MC-AN601C
Full Scale Range (N2 Eqv)
单气体2-5000sccm
单气体5-50SLM
Control Valve Type 阀门类型
常开式或常闭式螺线管 (NC or NO)
Fitting 接头
1/4'VCR or 1/4'Swagelok
Seals 密封
橡胶 Viton
Response Time 响应时间
到达设定点±2% 所需时间≤1Sec
Accuracy 精确性
≤满量程1%
Linearity 线性度
≤ 满量程的±0.5%
Repeatability 重复性
≤ 满量程的±0.2%
Differential Pressure 压差
7 - 40psi
Leak lntegrity 漏率
Max:1x10-7Pa.m3/sec (He)
Control Range 控制范围
满量程的2-100%
Max Operating Pressure 高操作压力
50psi
Proof Pressure 承受压力
大值150psi
Communication Type 通讯模式
模拟0-5V / 4-20mA
Input Power
输入功率
+15VDC ±2% at 50mA
-15VDC ±2% at 150mA
Command Signal 控制信号
0-5 VDC / 4-20 mA
Output Signal 输出模拟信号
0-5 VDC / 4-20 mA
Power Consumption 功耗
3.1W
Temperature Range 温度范围
5-45 Deg C
Materials 材料
316LSS,316SS,PTFE
Weight 重量
0.9kg